通常，煙臺氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為特種氣體和大宗特種氣體，不同的氣體選擇的供氣系統(tǒng)的也不相同，那接下來就給大家來具體的講解一下吧。

　　1、簡單供氣系統(tǒng)

　　簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

　　2、常規(guī)供氣系統(tǒng)

　　常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二級管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)，對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足平安的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

　　3、大宗特氣供氣系統(tǒng)

　　大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)采用全自動PLC操作器，彩色觸摸屏；煙臺氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安保防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。

　　上述內(nèi)容就是給大家總結(jié)的關(guān)于煙臺氣體供應(yīng)系統(tǒng)相關(guān)的內(nèi)容，相信大家都有進(jìn)一步的學(xué)習(xí)和了解了，如果大家還想了解更多資訊，請繼續(xù)的關(guān)注我們的官方網(wǎng)站吧。